定制GC特气柜气瓶柜钢瓶柜

面议元2023-03-04 05:18:45

杨帆

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来源 经纪人  

定制GC特气柜气瓶柜钢瓶柜


1.? 特气柜(GasCabinet)2.?? 特气柜尺寸:800长×540宽×1800高3.??PN2入口压力 80PSI,1/4 VCR接口GN2入口压力 80PSI,1/4 VCR接口CDA入口压力 4-10bar,1/4卡套接口VENT 1/2VCR接口工艺气体出口1/4 VCR接口4.??特气柜柜体换气量:SiH4-1200次/小时,其余300次/小时5.??根据实际需要可安装称重、报警、加热装置6.??按操作方式分为:手动切换、半自动切换。7.??阀门盘配件全部采用进口电子级材料,材质为SS316L不锈钢。8.??气体管路及焊接件加工全部采用Swagelok自动轨道焊机焊接。9.??气体管路设计合理,具备抽空、回充、压力指示、排放、检漏、预留接口等。10. 完善的安全报警装置,具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)报警信号被触发时,自动切断。11. 气瓶柜设计美观,紧凑,安全,质优价廉,可按照客户要求定制。
特气柜主要应用在?为MOCVD、PECVD、刻蚀机等设备供应有毒有害易燃易爆气体上,涉及半导体、太阳能光伏、生物工程、微电子、化工等行业。
我们的特气设备有:电子级特气柜(GasCabinet或称钢瓶柜、气瓶柜),气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气体配比箱(Gas Box by FlowMeter),阀门箱(VMB),阀门盘(VMP),气体侦测器(GasDetector),废气处理设备(Scrubber)。我们的产品有:美国PARKER调压阀、FPA接头,日本JSK卡套接头,日本FUJIKINVCR接头,高纯KUZE/ASFLOWBA/EP不锈钢管,高纯NKS压力表,气体压力传感器,气体压力开关,高纯Parker/富士金隔膜阀,高纯气体过滤器, 气体质量流量计。?欢迎致电详询?

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